Placas de bandeja de cerámica de carburo de silicio Sic para grabado ICP

Detalle del producto

Los soportes de obleas utilizados en los procesos de crecimiento epitaxial se someten a altas temperaturas y a una rigurosa limpieza química. Mascera ofrece placas de cerámica de carburo de silicio de alta pureza que ofrecen una excepcional resistencia térmica, una distribución térmica uniforme para un espesor y resistencia constantes de la capa epitaxial, y una robusta resistencia química.

La cerámica sin óxido, la cerámica de carburo de silicio (SiC), es un material superduro con una dureza de Mohs de hasta 9,5. Esta cerámica no solo posee excelentes propiedades mecánicas a temperatura ambiente, como alta resistencia a la flexión, excelente resistencia a la oxidación, buena resistencia a la corrosión, alta resistencia al desgaste y bajo coeficiente de fricción, sino que también posee excelentes propiedades mecánicas (resistencia a la fluencia y resistencia a la fluencia) a altas temperaturas. Esta resistencia a altas temperaturas se mantiene hasta 1600 °C, la mejor entre todos los materiales cerámicos. Su resistencia a la oxidación también es la mejor entre las cerámicas sin óxido.

Mascera produce cerámica de carburo de silicio en dos formas: carburo de silicio sinterizado (SSiC) y carburo de silicio unido por reacción (SiSiC). 

La cerámica de carburo de silicio sinterizado se produce utilizando polvos crudos de alta pureza y nanogrado, que se sinterizan a una temperatura de entre 2100 °C y 2200 °C. Este proceso de sinterización produce la densificación del cuerpo verde y una contracción de aproximadamente el 20 %. Por otro lado, el carburo de silicio ligado por reacción utiliza polvo de carburo de silicio de tamaño micrométrico y se sinteriza a una temperatura de entre 1450 °C y 1700 °C. A diferencia del carburo de silicio sinterizado, el carburo de silicio ligado por reacción no sufre contracción durante el proceso de sinterización.

La mayor temperatura de sinterización del carburo de silicio sinterizado mejora sus características de rendimiento, incluyendo mayor densidad, mayor resistencia y mayor resistencia a la oxidación y la corrosión. Para aplicaciones que no requieren estas propiedades de alto rendimiento, el carburo de silicio ligado por reacción es una opción más rentable.

Propiedades principales de la cerámica de carburo de silicio

• Alta resistencia a altas temperaturas.

• Resistencia a la oxidación a altas temperaturas

• Excelente resistencia al desgaste

• Bajo coeficiente de expansión térmica

• Alta conductividad térmica

• Excelente resistencia al choque térmico.

• Alta dureza

• Peso ligero debido a la baja densidad.
  

• Buena resistencia a la corrosión

Aplicaciones típicas de la cerámica de carburo de silicio

• Anillos de sello mecánico

• Bolas, asientos, revestimientos para válvulas

• Muebles de horno

• Intercambiadores de calor

• Componentes fijos y móviles de la turbina

• Medios de molienda

• Componentes para quemadores

• Cojinetes cerámicos

Hoja de datos del material

Formas disponibles de cerámica de carburo de silicio

1. Varilla de cerámica / pasador de cerámica / émbolo de cerámica

2. Tubo cerámico / casquillo cerámico / manguito cerámico

3. Anillo de cerámica / arandela de cerámica / espaciador de cerámica 

4. Disco cerámico

5. Placa de cerámica / bloque de cerámica

6. Bola de cerámica

7. Pistón cerámico

8. Crisol cerámico

9. Otras piezas de cerámica personalizadas

Embalaje y envío